半導体製造装置関連

半導体関連

マイクロデバイスチップや液晶画面などの半導体関連の製造には温度管理は欠かせません。数十nｍ（1nm＝10億分の1mm）などを要求する工程も存在することから数ミリケルビンの温度管理をしたいという要求が増えています。（1mK=0.001℃）

特長

• 狭いスペースに使用できる
• 微量な温度変化を捉える
• 形状をカスタマイズできる
• 各温度範囲に対応

上記以外の温度センサをご希望の場合は「白金測温抵抗体」から一覧をご確認いただくか、弊社まで「お問合せ」ください。